无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化,其主要组成部件有预过滤器、过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。
洁净密闭灯分为普通型和应急型两种。通常采用双管形式。其中应急型在正常情况下也可以当普通型使用,在厂房突然断电的情况下,其可保持继续照明, 并且不需要单供电系统。在用材上,洁净密闭等有不锈钢和烤漆型两种,面罩有透明和不透明之分。
在空气过滤方面,电子无尘车间应设三级甚至四级过滤,末端安装亚过滤器。在压力控制方面,要求电子无尘车间室内有压差,少在5Pa以上。电子无尘车间的新风量和换气次数,应根据车间面积和人员密集程度来定,原则上要求将空气中的含尘浓度降到低,减少外部污染物的影响,提高洁净室的净化效果。